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業績詳細


【論文】

Estimation of nanometer-sized EB patterning using energy deposition distribution in Monte Carlo simulation
【全著者名】
Hui Zhang, Takuro Tamura, You Yin, and Sumio Hosaka
【掲載雑誌名】
Key Engineering Materials
【巻・号・頁】
497: 127-132
【発表年月】
2011年12月
【単著、共著の別】
共著
【掲載雑誌種別】
学術雑誌
【DOI】
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/KEM.497.127

【研究者】

張 慧
【筆頭著者】
筆頭著者