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業績詳細


【論文】

Comparison of Nano-sized Pattern of Calixarene and ZEP520 Resists by Using Energy Deposition Distribution
【全著者名】
Hui Zhang, Takuya Komori, Zulfakri Bin Mohamad, You Yin and Sumio Hosaka
【掲載雑誌名】
Key Engineering Materials
【巻・号・頁】
534: 107-112
【発表年月】
2013年01月
【単著、共著の別】
共著
【掲載雑誌種別】
学術雑誌
【DOI】
10.4028/www.scientific.net/KEM.534.107

【研究者】

張 慧
【筆頭著者】
筆頭著者