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業績詳細


【論文】

Ordering of 6-nm-sized nanodot arrays with 10-nm-pitch using self-assembled block copolymers along electron beam-drawn guide-lines
【全著者名】
Hosaka, Sumio; Akahane, Takashi; Huda, Miftakhul; Komori, Takuya; Zhang, Hui; Yin, You
【掲載雑誌名】
MICROELECTRONIC ENGINEERING
【巻・号・頁】
123: 54-57
【発表年月】
2014年07月
【単著、共著の別】
共著
【掲載雑誌種別】
学術雑誌
【DOI】
10.1016/j.mee.2014.05.026

【研究者】

張 慧