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業績詳細


【論文】

Development of diagnostic method for deep levels in semiconductors using charge induced by heavy ion microbeams
【全著者名】
Kada, Wataru; Kambayashi, Yuya; Iwamoto, Naoya; Onoda, Shinobu; Makino, Takahiro; Koka, Masashi; Kamiya, Tomihiro; Hoshino, Norihiro; Tsuchida, Hidekazu; Kojima, Kazutoshi; Hanaizumi, Osamu; Ohshima, Takeshi
【掲載雑誌名】
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
【巻・号・頁】
348: 240-245
【発表年月】
2015年04月
【単著、共著の別】
共著
【掲載雑誌種別】
その他
【DOI】
10.1016/j.nimb.2014.12.054

【研究者】

加田 渉
【筆頭著者】
筆頭著者